?測試原理
基于熱反射原理：材料反射率變化和溫度變化成正比。采用一束脈沖激光對材料表面進行加熱，采用另一束連續激光對材料表面反射率變化(即溫度變化)進行探測，根據熱擴散傳導模型，對溫度變化進行分析擬合，獲取材料熱物性參數值，通常包括熱導率和界面熱阻
?應用對象
l襯底材料 (Diamond、SiC、 GaN、Si、Sapphire、 Ga2O3等)；封裝材料(銀膠、焊料、硅脂、聚合物等)；其他材料(金屬、液體等)
l功率、射頻、照明、激光器件異質外延和鍵合材料(GaN-on-SiC、GaN-on-Diamond、Ga2O3-on-SiC、 Si-on-SiC、 InP-on-SiC等)
?指標
項目 | 指標 | 亮點 |
測試參數 | 熱導率、界面熱阻 | 可測界面熱阻 |
熱導率范圍 | 0.2 W/mK - 2500 W/mK | 測試范圍全覆蓋 |
界面熱阻范圍 | 2 m2K/GW - 200 m2K/GW |
空間分辨率 | 垂直厚度方向>100納米 | 納微米級分辨率 |
水平尺寸要求 | >1毫米,無形狀要求 | 樣品要求簡單 |
材料表面粗糙鍍要求 | <20納米(一般，取決于材料類型) |
樣品處理 | 表面鍍鋁、金、銅、鎳等金屬，厚度約100納米 |
分析軟件 | 自動化數據擬合、蒙特卡諾不確定度計算 | 數據分析流程簡單 |
單點測試時間 | <3分鐘 | 測試速度快 |
其他 | CCD顯微可視 | 原位測試 |
?型號
項目 | 指標 |
TTR-N | 適合材料表面鍍鋁、鎳等 |
TTR-G | 適合材料表面鍍金、銅等 |
TTR--N/G | 適合廣泛的金屬膜 |
?定制
項目 | 指標 |
測試環境溫度范圍（選配） | -196°C到600°C(可擴展至1400 oC) |
晶圓掃描測試（選配) | 掃描精度1微米，掃描范圍可至6英寸 |
無損測試（選配) | GaN，GaAs |